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逢甲大學材料與製造工程機械工程組碩士班碩士論文 - 逢甲大學學位 ...
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日期：2025-05-05
氣體比例、Ar 氣體流量、製程壓力，來控制關鍵尺寸(CD)，以避免. 微負載效應( Microloading Effect)。 關鍵詞：半導體製程，蝕刻製程，二氧化矽，硬式遮蔽層。...看更多
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