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日期：2025-10-20
第一部份前言介紹擴散製程在晶圓製造中所扮演的角色。 第二部份是 ... 第三部份則是敘述清洗、爐管、離子植入等各類製程及設備。 .... 其晶圓乾燥是利用伯努利原理。...看更多
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