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關於SEM的Charging effect - 失效分析 - 半導體技術天地 晶片,集成電路,設計,版圖,製造,工藝,製程,封裝,測試,wafer,chip ...
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日期：2025-06-09
用sem觀察導電性差的樣品時，會有charging的現象出現。大家討論一下charging吧是不是因為一次電子轟擊樣品時，產生電荷，但因為樣品不導電，所以電荷無法被導走，所以 ......看更多
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