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離子佈植 - 中研院物理研究所

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日期：2025-05-28
一般而言，離子佈植機的構造主要包括下列的系統：離子源（ion source）、分析 ... 其中離子源係為產生各種離子的基本設備，其工作原理係將靶材物質游離，使其形成帶 ......看更多

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