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雷射干涉儀之應用與原理
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日期:2024-05-12
目前在工業界對於精密儀器之位置定位控制或誤差量測,多以雷射干涉儀作. 為評估之標準,主要是由於雷射干涉儀穩定的長行程高量測精度可應用在奈米等. 級的位置 ......看更多