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CTIMES- 剖析電容式MEMS麥克風技術設計 :MEMS,微機電,電容式麥克風,CMOS-MEMS,工研院南分院微,Knowles Acoustics,接合材料 ...
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日期：2025-05-21
機械特性 電容式麥克風包含有空氣運動的聲學域、薄板運動的機械域與輸出電壓的電氣域的交互影響，同時受到偏壓產生的靜電力、空氣聲壓、空氣阻力、結構彈性力作用，無法找出描述其行為的解析公式，因此在設計上通常以由圖六的等效電路 ......看更多
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