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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 透過全面性元件充電模式(CDM)靜電放電(ESD)失效的分析以提昇良率 - Semicondutor ...
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日期：2025-05-15
Roger Peirce, Simco, an ITW Company, Hatfield, PA, United States 在半導體的生產過程中，不僅會妥善的記錄因為靜電效應的影響所造成產品的損壞以及良率的損失，對造成產生靜電荷現象的明確原因也都記之甚詳[1-20]。因為殘留靜電的晶圓、光罩、卡匣盒以及 ......看更多
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