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AES SIMS ESCA - 臺灣大學化學系
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日期：2025-10-18
AES SIMS ESCA 表面成分分布 可 不可 可 成分深度分布 加離子濺射可 加離子濺射可 直接可 化合物 部分可 可 可 同位素 不可 不可 可 分析元素 Z > 2 Z > 1 所有元素 元素辨識力 10 10 105 靈敏度（ppm） 1000 1000 1000 徑向解析力（µm）...看更多
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