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CMOS MEMS 微型加速度計 - 微感測器與致動器產學聯盟

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日期：2025-04-27
文中將介紹設計原理、機械結構、感測介面及感測電路等。 ... 產品外，微機電壓力計(pressure sensor) 與加速度 .... 節已說明一般電容式加速度計的基本工作原理，本....看更多

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