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Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University

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日期：2025-05-27
感應耦合原理 圖 射頻電流通過線圈 射頻磁場 感應電場 74 ICP反應室示意圖 氦氣 偏壓射頻功率 ... ‧蝕刻製程比PECVD 製程需要更多離子轟擊 ‧低壓、高密度電漿的需求 ‧半導體製造最常用的兩種高密度電漿系統 ......看更多

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