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ICP plasma中，如果只開source power, 不開bias power，會有DC Bias形成嗎？ - Etching&Clean[蝕刻&清洗] - 半導體技術天地 ...
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日期：2025-05-15
ICP plasma中，如果只開source power, 不開 bias power，是不會有有 DC Bias形成的。 bias power 是DC 電壓，source ......看更多
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