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Silicon and Silicon Nitride Prepared by Ratio-frequency magnetron ...
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日期：2025-05-22
國立中山大學光電工程研究所. 碩士論文. 利用磁式濺鍍機成長矽與氮化矽於矽基板
和玻璃基板. Silicon and Silicon Nitride Prepared by Ratio-frequency magnetron ......看更多
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