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Spin Coater 1 操作手冊
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日期：2025-05-18
儀器原理. 微影製程包括三個主要步驟：光阻塗佈、曝光和顯影。本機台主要是應用在
第一階段的光阻塗佈。 ... Clean）、去水烘烤（Dehydration Bake）、塗底（Priming）
和光阻旋轉塗佈（Spin Coating）、軟烤（Soft ......看更多
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