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TCP 9400SE 多晶矽乾蝕刻機儀器簡介
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日期：2025-05-17
TCP 9400SE 多晶矽乾蝕刻機 儀器簡介 1.主要功能: 利用乾式蝕刻之非等向性特性製作特定形狀之圖樣(微影製程允許 的) 2.可蝕刻材料: (a) 使用六吋Si 晶圓沉積前段製程的Si(single, poly, amorphous)薄膜 ......看更多
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