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The Study of 6H-SiC Poly-type Crystal Growth
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日期：2025-05-31
由於，碳化矽之晶體特性 ，碳化矽晶體可藉由 碳化矽晶體成長溫度的控制，得到不同晶態之碳化 矽晶體。而圖1 顯示為不同之碳化矽晶態，如立方 晶態、六方晶態及正交晶態之碳化矽結晶結構 ......看更多
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