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日期:2024-05-13
2-2乾蝕刻原理與機制 ...8 2-3蝕刻反應器 .....10 2-4乾蝕刻環境的影響 .15 2-4-1蝕刻時反應腔室壓力 ..15 2-4-2射頻功率(RF power)的影響……………………...15 2-4-3蝕刻氣體流量的影響 .16 2-4-4負載 ......看更多