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無塵室的等級怎麼分? - Yahoo!奇摩知識+
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日期：2025-04-27
解答 目前業界常聽到的無塵室標準為FS 209E(Federal Standard 209 E版本) 其定義為：在取樣一立方英呎的體積中，大於等於0.5µm的particle的數量少於1000，就是Class 1000 大於等於0.5µm的particle的數量少於100，就是Class 100，以此類推...看更多
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