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气体质量流量控制器_互动百科

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日期：2025-10-04
首先区分一下气体质量流量控制器（MFC）与气体质量流量计（MFM），MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置。...看更多

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