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PECVD 電漿Arcing 之改善研究
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日期：2025-10-08
2013年9月16日 ... Title: PECVD電漿Arcing之改善研究. On the reduction of the Plasma Arcing in a
PECVD Chamber. Authors: 彭元宗. Contributors: 吳宗信....看更多
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