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www.usat.org.tw18. 科儀新知第三十卷第一期97.8. CMOS MEMS 微型加速度計. COMS MEMS Accelerometer. CMOS MEMS 是目前相當受到矚目的一項微機電技術，除了有許多 已 ...瀏覽：1036 -
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rjchang.me.ncku.edu.tw2002年11月14日 - 半導體式壓力感測元件_矽質壓阻式壓力感測器是所有微 ... 壓阻式壓力感測器的主要原理，是將一具有壓阻特性的材料製作於感測器的. 薄膜結構上 ...瀏覽：347
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