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![高立出版集團 -- 微機電系統原理與應用(Liu：Foundations of MEMS)]()
www.gau-lih.com.tw第六章 壓阻式 感測器 第七章 壓電感測與致動原理 第八章 磁性致動器 第九章 感測器和致動器的總結 ... 械加工以 ...瀏覽：303 -
![MEMS壓力傳感器應用 - 自动化在线网-我们只专注于技术]()
www.autooo.net... 的MEMS壓力傳感器有矽 壓阻式壓力傳感器和矽電容式壓力傳感器，兩者都是在矽片上生成的 微機械電子傳感器。 ...瀏覽：1449
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日期：2025-12-17
MEMS壓力感測器在設計原理上，主要可分為壓阻式與電容式。壓阻式MEMS壓力計
結構圖如圖1所示，其結構主要包含基板、薄膜與壓阻材料，其中基板會與薄膜形成 ......
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日期：2025-12-17
2011年6月24日 ... MEMS壓力傳感器可以用類似集成電路（IC）設計技術和製造工藝，進行高精度、低 ...
MEMS壓力傳感器原理目前的MEMS壓力傳感器有矽壓阻式壓力傳感器和 ... 柴油機
共軌壓力傳感器；消費電子：如胎壓計、血壓計、櫥用秤、健康秤， ......
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日期：2025-12-17
關鍵詞:微機電系統; 電容式壓力感測器; 壓阻式感測器. ]德霖技術學院 ... 更加廣泛口
其中微小化壓力計的研究便是學術界以及產業界研究製造的重點口. 壓力計於生活 ......
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日期：2025-12-20
壓阻式的微機電壓力計之原理. 搜尋結果 ... 類比開關適合多種不同應用，如行動電話
和PDA等可攜式手持設備、電腦、視訊顯示器等消費電子設備。無論應用在音訊、 ......
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日期：2025-12-17
本發明係有關於ˊ 種壓阻式壓力威測器 ... 低溫製程之特小' 具有降低壓力計製造
成本、 縮短封裝時 ... 汽車、 礦冶、 自動控制、 甚至生醫科技範疇' 微機電系統....
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日期：2025-12-17
另外，有兩項發展成熟的舊有MEMS 元件絕對式壓力計與紅外線溫度影像感測器，
近期將可望在消 ..... 工技術方面的研究已趨成熟，因此發展出矽壓阻式壓力. 感測器 ......
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日期：2025-12-17
介紹(1)微機電之重要性與發展；(2)經典的微製程工藝；(3)台灣微機電產業上中 ...
介紹目前主流之微機電傳感原理與運作機制，包含(1)電容傳感；(2)熱傳感；(3)壓阻感
測。 ... 案例說明包含微加速度計、壓力計、麥克風、陀螺儀等，期望提供聯盟會員跨界
......
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日期：2025-12-16
摘要本研究應用微機電製程技術之表面微細加工技術製作陣列式微型壓阻式壓力感
測器，此壓力感測器將應用於量測鈍型體前緣流場之特性。感測器上的壓阻應變規 ......
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