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    日期:2025-06-05
    1. 微機電系統製程平台及應用. 方維倫、謝哲偉、林弘毅. 國立清華大學動力機械工程學系. 1 前言. 1947 年電晶體的發明為Shockly 等人贏得諾貝爾物理獎的榮耀,十多 ......