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![電漿技術於清潔製程之應用 - 臺灣大學圖書館＊公開取用電子書]()
ebooks.lib.ntu.edu.tw1 電漿技術於清潔製程之應用 梁國超博士 gtliang@creating-nanotech.com 馗鼎奈米科技股份有限公司 中華民國九十三年七月十三、十四日 2 大綱 電漿為一熱力學非平衡狀態, 電漿中分佈了多種形態的高能量粒子, 利用 電漿, 可以將適當的氣體分子如O瀏覽：366
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日期：2024-05-01
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新竹縣湖口鄉新竹工業區光復北路21 巷6-3 號. TEL：03-5982095 / FAX：03- 5982096. 統一編號：80413313. Hts 微波電漿機台設計物理概念及工程特點介紹....
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