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        聚對二甲基矽氧烷(poly-dimethylsiloxane;PDMS),當作微機電的高分子素材,在 從事 ... 將具有母模微流道圖案之PDMS待結合表面,以氧氣電漿進行氧化處理,之後  ...
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    日期:2024-04-22
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    日期:2024-04-25
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    日期:2024-04-23
    氧氣. 含量2.6%,可達到穿透率大於91%,面阻抗值為500Ω/□之ITO導電玻璃,並可. 符合觸控面板所要求的耐 ...... 的形式釋出能量,氣體決定電漿顏色,使得電漿發出 不同的波長的光。 在氣體壓力約為數個....
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    日期:2024-04-25
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    日期:2024-04-29
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    日期:2024-04-23
    敘述電漿蝕刻製程的順序. ‧瞭解蝕刻 .... 氧電漿灰化(Oxygen plasma ashing):有機 ..... 光感測器可偵測顏色變化,指出電漿蝕....
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