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日期:2025-05-01
空氣量規(Air Gauge) 泛指所有利用空氣 量測的儀器,如空氣塞規(Air Plug Gauge) 空氣環規(Air Ring Gauge)等。其量測原理是利用壓力大小回饋至顯示器來測量待測物(Sample)的尺寸。...
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日期:2025-05-05
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日期:2025-05-01
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日期:2025-05-06
3-1 蒸鍍(Evaporation)原理. 蒸鍍是 ..... PECVD的沈積原理與一般的CVD之間並沒有太大的差異。電漿中的 ......
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日期:2025-05-05
CVD 原理. ◇反應氣體從反應器的主氣流裏,藉著反應氣體在主氣流及晶片. 表面間的濃度差,以擴散的 .... ◇PECVD利用電漿來幫助化學沉積反應的進行,並降低反應. 發生所需的製程溫度,以 ......
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日期:2025-04-30
CVD 原理. (a)反應物以擴散通過介面邊界層。 (b)反應物吸附在晶片表面。 .... PECVD 在TFT 上的應用(1)....
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日期:2025-05-03
Deposition : PECVD)氮化矽薄膜的基本原理. 化學氣象沉積(chemical vapor deposition : CVD)乃是利用 ......