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![Coating專家 - 心得報告]()
ctld.nthu.edu.tw2014年9月24日 - 介紹Spin Coating的基本原理、構造、適用條件範圍等等，並且介紹整體製成的步驟、 操作 ...瀏覽：611 -
![溶膠凝膠法]()
www.mse.fcu.edu.twSol-Gel法原理. ▫ 溶膠凝膠 ... 旋塗法(Spin Coating)：圓盤型(或非圓盤型)之基材放在一基. 座上後，利用真空 ...瀏覽：605
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儀器原理. 微影製程包括三個主要步驟：光阻塗佈、曝光和顯影。本機台主要是應用在
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介紹溶膠凝膠法之原理及其在氧化物薄膜(ZnO)製備方面的應用。同學可藉由氧化物
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旋轉塗佈原理,旋轉塗佈(Spin Coating)： 旋轉夾盤(spin ,溶膠凝膠法原理; 氧化物
溶膠的合成與熱分析; 非晶態氧化物薄,2008 ......
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參見圖2.1) [22]，首先是將基板置於旋轉檯中央，再滴上定量的溶. 液於基板上(步驟(
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