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光阻塗佈

光阻塗佈

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日期：2025-05-28
微影技術是圖案化製程中將設計好的圖案從光罩或倍縮光罩上轉印到晶圓表面的光阻上時所使用的技術; 半導體產業則是在1950年採用微影技術來製造電晶體和積體電路 .... 半導體製程技術導論—羅正忠; www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm ......看更多

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