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創新之單模光纖式雷射干涉微影系統設計與開發__國立清華大學博 ...

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日期：2025-05-05
... 製作次波長結構。但為了能夠使雷射干涉微影系統更加穩定、提高良率，許多研究團隊提出以光學機構搭配即時回饋系統，鎖定干涉相位，使干涉光源受環境擾動的因....看更多

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