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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - [無塵室] 供給浸潤式微影的使用點超純水 - Semicondutor Magazine
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日期：2025-10-08
Michael E. Clarke, Annie Xia, Joseph Smith, Bipin Parekh, Entegris, Inc. 浸潤式顯影技術(LIL)最近已經躍進到所有微影討論的中心。由於在2004~2006年期間交付了一些有生產價值的LIL機臺機組，LIL現在已經不再是一種新奇的產品，而是一項主流技術。 半導體工業藉 ......看更多
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