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半導體製程技術
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日期：2025-06-24
單晶塊材成長( Bulk Crystal Growth ). 矽單晶通常以柴氏法或浮區法成長。圖為柴氏法成長單. 晶示意圖。大致上是將矸鍋中，盛有高純度矽的熔融液. (維持在矽熔點 ......看更多
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