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增強大氣電漿技術沉積二氧化矽薄膜之機械性質探討
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日期：2025-05-25
本文係利用噴射式 大氣電漿鍍膜 技術，電漿氣體 為氮氣並在電源以功率500 W、頻率20 kHz及室溫 和一大氣壓力下產生電漿源。使用有機矽源的六甲基 ......看更多
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