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工業技術研究院 - 可移轉技術 - 矽晶片濕蝕刻精密對準製程技術

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日期：2025-12-20
技術名稱(中文)：矽晶片濕蝕刻 精密對準製程技術 技術名稱(英文)：The Application of Precision Alignment on Silicon Wet 技 術 簡 介 矽的非等向性KOH蝕刻是眾多微機電系統技術的其中一項，其深蝕刻技術更是壓力感測器,加速器等感測器或致動器的關鍵。而為 ......看更多

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