微机械陀螺仪的工作原理及其应用 - 360Doc个人图书馆

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日期:2025-05-26
2011年8月9日 - 本文详细介绍了意法半导体公司的电容式微机械陀螺仪的基本工作原理,其采用对称双质量块结构,驱动质量块由静电力驱动产生可控的运动速度, ......看更多