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微波退火非晶硅薄膜低温晶化研究_百度文库
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日期：2025-06-04
行動版 - 2014年10月23日 - 2001 文章编号: 1004-2474( 2001) 01-0053-03 微波退火非晶硅薄膜低温晶化 ... 图3 Si 薄膜在不同微波退火温度退火3 h 的拉曼光谱图图1 微波加热装置原理图3 结果与分析 ......看更多
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