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感應耦合式電漿蝕刻系統

感應耦合式電漿蝕刻系統

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日期：2024-05-06
感應耦合式電漿蝕刻系統是採用射頻電源注入設計在腔體周圍的電極線圈，藉由電感 耦. 合增加電子的運動距離而在高真空環境下激發出高密度電漿。此機台為乾式深 ......看更多

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