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感應耦合電漿離子蝕刻技術(I) Inductively Coupled Plasma Reactive ...

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日期：2025-05-07
2005年12月21日 ... 本中心的感應耦合電漿離子蝕刻製程技術，主要是利用電漿來進行蝕刻，具有較佳的 非等向性蝕刻。感應耦合電漿離子蝕刻(ICP) 為目前矽深蝕刻最 ......看更多

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