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氧電漿處理對BST高介電薄膜的影響 - 國家奈米元件實驗室
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日期：2024-06-08
14. 第. 七. 卷. 第. 四. 期. 毫. 微. 米. 通. 訊. 氧電漿處理對BST高介電薄膜的影響. 簡昭欣、呂正傑. 國家毫微米元件實驗室. 摘要. 實驗結果發現經過氧電漿處理的B S T 薄....看更多
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