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物理氣相沈積 - 俊尚科技股份有限公司
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日期：2025-06-04
這些不同的項變化衍生出各種PVD技術，其中以濺鍍法（Sputtering）和蒸鍍 ... 所謂濺
射，跟撞球原理非常類似，是指固體表面受到帶有高能量粒子的衝擊，基於 ... 可達數
10eV）因此得以脫出母材，並在真空環境中以直線運動飛至待鍍物表面沈積成膜。 ...
述，可從下表建議數值中判斷系統之運作狀態是否進入符合學理定義之HIPIMS工作
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