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目前應用於LCD 製程array 段及半導體相關產業的蝕刻技術， 主要可分 ...
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日期：2025-04-26
著利用蝕刻將未受光阻保護的區域去除，最後再將光阻去除。 ... 通用的TFT LCD
array結構即是利用5PEP製程得到所需的TFT結構，各大LCD廠為了降低成本及提高
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