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矽含量對矽化鎢閘極電極性質及功函數的影響之特性研究__臺灣博 ...
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日期：2025-06-20
為克服以上問題，多晶矽閘極與二氧化矽介電層需以金屬閘極與高介電常數材料取代
之。本研究主要探討鎢-矽薄膜(W1-xSix)閘極電極中矽含量的改變對其功函數的 ......看更多
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