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硫酸溶液後處理對熱化學氣相沉積奈米碳管表面形態及場發射特性之 ...
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日期:2025-06-07
F. 將矽基板加入去離子水,放入超音波震盪器中清洗. 10 分鐘。 G. 以氮氣槍將基板
吹乾後,置入熱蒸鍍系統腔體中。 (2)蒸鍍催化劑金屬步驟. A. 將清潔乾淨後的矽基板
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