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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 雷射剝離技術啟動先進薄膜製程 - Semicondutor Magazine
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日期：2025-05-31
雷射成本特性 準分子雷射已被用於微影光學上很長的時間。但非常重要的是我們必須意識到最佳調教後用於雷射剝離的光源有著低成本、小尺寸與不同的脈波特性，其與用於微影光學的準分子雷射是完全不同的。...看更多
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