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日期：2025-06-03
1.2 電漿增強式化學氣相沉積法(PECVD)………………………………………6. 1.3 光照射 .... 其原理和微波電漿CVD 法相同，但是在反應室外圍放置兩組電磁鐵，上面....看更多

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