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逢甲大學化學工程學系碩士論文 - 逢甲大學學位論文提交查詢系統
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日期：2025-06-30
在本論文中，係以感應式耦合電漿化學氣相沉積系統成長氮化矽. 薄膜。研究工作
可以分為兩個部分，首先探討沉積參數，包括ICP 功. 率、Bias 功率、 ... 利用即時沉積
即時處理的方法來改善薄膜品質，期望能成長出含氫量. 低的氮化矽膜。 ..... 或是以電
漿輔助. 化學氣相沉積(plasma-enhanced chemical vapor deposition，PECVD)的....看更多
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