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奈米通訊。第七卷第三期 31.電子束微影技術之鄰近效應修正(I)
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日期：2025-05-12
... 的問題，使得毗鄰的曝光圖 案因而互相影響，限制圖案定義的真確性， 這種 效應稱為 鄰近效應( proximity eff ......看更多
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