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電漿熱流分析研究 - 行政院原子能委員會
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日期：2025-06-30
數值模擬建立電漿製程腔體的熱流分析模型，計算成膜溫度；在此. 熱流分析模型的基礎上，探討各種電漿 ......看更多
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