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電漿熱流分析研究 - 行政院原子能委員會
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日期:2025-12-17
數值模擬建立電漿製程腔體的熱流分析模型,計算成膜溫度;在此. 熱流分析模型的基礎上,探討各種電漿 ......看更多












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