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高解析掃描穿透式電子顯微鏡在後段金屬 連線的應用

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日期：2025-10-03
18 第 九 卷 第 四 期 奈 米 通 訊 摘要 本文利用結合高解析能損儀之掃描 穿透 式電子顯微鏡，進行奈米元件後段製程上的 ......看更多

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