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2.2.1 - 國立中央大學
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日期:2024-06-05
本研究亦使用量產上的設備(如:光學薄膜測厚儀,光阻旋轉塗佈. 機,光學歩近式曝光機, ... 本研究透過一系列之評估實驗:Spin Coater 轉速、光阻塗佈均一. 性、Swing ......看更多