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PECVD 化學氣相沉積 - 富臨科技工程股份有限公司
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日期：2025-05-15
本公司推出的PECVD是一部單腔製程的電漿輔助化學氣相沉積系統，適用於200mm ... PECVD在本土設備製造上之技術能力已技冠全台，藉由多層均勻分流的shower ......看更多
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