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PECVD Silicon Nitride - MIT - Massachusetts Institute of Technology
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日期：2025-12-05
Property Value Reference Image/URL (optional) Mass density 2500 kg/m 3 IEEE 1990 Ultrasonics Symposium Proceedings (Cat. No.90CH2938-9), 1990, p 445-8 vol.1 Young's modulus 160 GPa Proceedings IEEE Sixteenth Annual International Conference on ......看更多
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